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功研究员团队合作,利用石墨兼具固体润滑与促进反应的双重功效,一举突破两大技术瓶颈。 实验数据显示,采用该方法后,镜体中碳化硅含量由46.36%提升至64.54%。团队成功制备出直径220毫米的拓扑结构碳化硅镜体,全链路尺寸变形量控制在0.5%以内,经加工后光学表面面形精度优于λ/50 RMS(λ=
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发布时间:14:50:40